HL-2A装置直流辉光自动调节控制系统
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology（2019）
Abstract
直流辉光放电清洗的主要作用是去除HL-2A装置内的低Z杂质C、O,以及放电期间所产生的残余气体和杂质.介绍了直流辉光放电自动调节控制系统.在辉光放电过程中,实现了真空室工作气体气压和放电电压的自动调节和信号采集.本文描述了系统的设计原理,控制方案和系统实现后的具体应用效果.直流辉光放电系统的性能得到了提高,放电电流稳定性得到了显著提高,放电电压的控制精度改善为1％FS,系统从启动到稳定运行状态的时间小于40 s,HL-2A装置的清洗效率也明显获得改善.
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