场发射扫描电镜荷电现象的研究及参数优化
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology（2018）
Abstract
扫描电子显微镜主要用于样品显微结构的表征分析,在科研和实际工作中应用广泛.荷电现象是最常见的严重影响到SEM图像质量的现象之一,它会造成图像的反差异常、形变等,在导电性不好或很差的样品形貌表征中极为常见.文中以几种导电性较差样品,如陶瓷、倍他环糊精、SiO2、细菌等为对象,通过实验比对后发现,通过加速电压、探头选择、信号选择、图像采集方式等参数的调节能够有效减轻SEM图像的荷电现象,从而提高了图像质量,获得了更为真实的显微结构信息.
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