沟道长度对碳纳米管薄膜晶体管阈值电压的调控作用
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology（2017）
摘要
根据碳纳米管薄膜晶体管特有的渗流输运机制,通过改变器件的沟道长度实现了对器件阈值电压的调控.与通常的晶体管阈值电压调控方法相比,该方法具有工艺简单且阈值电压调控范围大的优势.这种阈值调控方法不仅是对常规晶体管阈值调控方法的有益补充,同时也对碳纳米管薄膜晶体管的实际应用进程具有重要的促进作用.
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