蒙特卡罗法计算分子流状态下真空管道的传输几率
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology(2014)
摘要
采用蒙特卡罗法对分子流状态下真空管道的传输几率进行了计算.计算精度随着模拟分子数的增加而显著提高,对于圆柱管道,模拟分子数为1.0×109时误差在2.7× 10-5以下.气体分子与管壁的平均碰撞次数与管道纵横比基本相等.分析了传输几率与管道内壁吸附性的关系,通过测量管道两端气压便可计算出管道的抽速.另外,对椭圆和矩形截面管道的流导也进行了计算.
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