GaAs光阴极制备装置的超高真空系统研制
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology（2014）
Abstract
研制了一套由导入室、制备室和储藏室组成的三室Load-Lock超高真空GaAs光阴极制备装置,用于中国科学院高能物理研究所自主研制的500kV光阴极直流高压电子枪系统.在本装置中,采用溅射离子泵和非蒸散型吸气剂泵的复合方式来获取超高真空,并通过磁力杆完成光阴极在各个真空室之间的传送和取放.真空测试结果显示,用钛金属材料制作的储藏室的极限真空达到3.1×10-10 Pa,用不锈钢316L材料制作的制备室和导入室的极限真空分别达到4× 10-9 Pa和3.6× 10-8Pa,三个真空室的真空指标优于设计要求.
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