光束线真空保护联锁与控制系统研制

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY（1998）

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摘要

介绍了光束线前端区装置的组成及光束线真空保护联锁与控制要点.根据光束线真空保护联锁与控制的要求,本实验室研制了真空传感器、快速关闭阀及快阀控制器等真空保护联锁与控制系统所需的关键部件,进一步提高了光束线真空保护联锁与控制系统的反应速度和可靠性.

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