冷壁CVD法制备石墨烯层数检测方法研究
Metrology & Measurement Technique（2018）
摘要
由于在电子器件、触摸屏、新能源以及生物医药等领域有巨大的潜在应用前景,石墨烯材料在近几年受到了学术界和工业界的广泛关注.经过十年的发展,石墨烯产业链正在逐步形成,但整个产业缺乏规范,特别是相关检测方法及其标准的缺失成为了产业发展的瓶颈.石墨烯的层数或厚度往往与材料的导电率、方阻、透光率以及热导等多种性能有直接的关系,为石墨烯产品质量的一个重要考核指标,可采用椭圆偏振仪、扫描探针显微镜、拉曼光谱和透射电子显微镜等方法进行测量.其中扫描探针显微镜具有可测量多种石墨烯材料、分辨率高等优点,是未来石墨烯厚度检测一个重要的发展方向.本文将介绍采用扫描探针显微镜对冷壁CVD法生长的石墨烯厚度的测试原理、方法、仪器校准、样品制备及测试分析等内容.
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