激光波前相位测试与校准技术

Hartmann-Shack波前传感器通过一个微透镜阵列和CCD可同时探测一束激光的振幅和相位信息，通过波前重构算法，可以获得激光的波前相位信息。本文介绍了Hartmann-Shack法激光波前相位测试方法和测试原理，并对Hartmann-Shack波前传感器的校准方法及校准不确定度进行了探讨。