薄膜材料气体微量渗透率动态流量测试方法研究
Vacuum and Cryogenics（2020）
摘要
固体材料的气体渗透是材料的固有特性,是影响密闭容器密封性能的原因之一,在某些场合材料的气体渗透已经成为导致产品压力降低和真空失效的主要因素.介绍了一种采用热阴极电离规和四极质谱计作为核心测量传感器,实现渗透低压侧总压力和分压力精确测量,并结合固定流导法实现渗透低压侧漏放气速率测量,再依据渗透机理获得薄膜材料气体微量渗透率.对利用上述原理研制的薄膜材料新型气体微量渗透率测量装置开展了典型薄膜材料渗透性能测试,结果表明,所研制装置的渗透系数测量下限小于1×10-14 m2/s,测得真空绝热板(Vacuum Insulation Panel,VIP)行业用典型高阻隔薄膜对H2O和N2的渗透率在10-2g/(m2·d)量级,与国外资料给出的VIP材料渗透率10-2～10-3 g/(m2·d)范围相当.
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