压阻式真空传感器校准技术研究

随着科学技术的发展，各种类型真空传感器在真空测量设备中得到广泛应用，日常测量和校准问题也日益得到相关计量部门的关注。通过对压阻式真空传感器使用原理的分析，采用比较法真空校准装置，获得真空变量与测量输出信号间的函数关系，对照测量误差是否在准确度等级范围内，准确判断测量结果与被测量真值的一致程度，解决该类型真空传感器的测量和校准问题。