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电真空器件同心度的测量方法

王博锋,周冠丽,王蒙,胡旭华,李丽萍,周健勇,张永清

China Metrology（2016）

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Abstract
本文根据工具显微镜光学系统的特性,分析了引起影像法测量误差的因素,对电真空器件典型部件进行测量,验证了部件的装架准确度和部件焊接之后的对中准确度. 一、测量装置 主机——MM800/L测量显微镜,计算机,软件——数据测量及转换计算机操作系统.
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