扫描电镜测定夹杂物的影响因素探讨

研究了参数设置对扫描电镜检测夹杂物的影响,讨论了放大倍数、搜索网格大小、加速电压及工作距离等参数对测量夹杂物尺寸、数量的影响.研究结果表明,放大倍数越小,搜索网格的数量越少,检测到的夹杂物平均数量越少,平均夹杂物尺寸越大;当放大倍数降低到100倍左右、搜索网格为512×512、加速电压为25 kV、工作距离为17.5 mm时,能够检测到实验钢种夹杂物的平均尺寸约4μm,最小尺寸约1μm.其次,工作距离越大,加速电压越小,检测到的夹杂物数量越多,平均夹杂物尺寸越小.这主要是因为图像的分辨率随着工作距离增加和加速电压的减小而提高,进而导致在测试过程中大量细小的夹杂和析出物被检测到;因而在检测细小的夹杂和析出时,应增大工作距离或者降低工作电压,特别是在精确检测非常细小的MnS夹杂时,应适当增加工作距离至20.5 mm或降低加速电压至15 kV以下.不同测量面积设置的实验结果表明,对于本实验材料,检测面积大于20 mm2时实验结果更可靠、更具代表性.