微球结构MoS2/FeS复合薄膜的制备及表征

采用离子注入结合低温离子渗硫法制备了MoS2/FeS复合薄膜,并借助扫描电子显微镜、X射线光电子能谱仪和纳米压痕仪对复合薄膜进行了表征。结果表明,复合薄膜呈微球结构,颗粒尺寸均匀,约为500 nm。复合薄膜主要由MoS2、FeS及少量的氧化物组成。基体与复合薄膜的硬度分别为6.57 GPa和7.89 GPa,弹性模量分别为223.8 GPa和246.2 GPa。相对基体复合薄膜的硬度及弹性模量分别提高约20%和10%,弹性特征值H/E亦相应提高了约10%,表明其较基体具有更高的磨损抗力。