导轨副垂直/倾斜/俯仰静刚度高效高精同步测量装置及方法

针对目前滚动直线导轨副垂直、 倾斜、 俯仰静刚度测量效率和精度难以兼顾的现状,提出一种效率高且准确性高,一次操作就可测量出导轨副垂直、 倾斜、 俯仰3种静刚度的测量方法并设计了测量装置.该测量方法首先进行干扰项隔离,将垂直、 倾斜静刚度的测量与俯仰静刚度隔离开,进而运用参数分离技术将加载力及导轨副变形量等效分解到垂直、 倾斜、 俯仰方向,实现3种静刚度的高效高精测量.结果表明:该装置及方法能够有效提高导轨副静刚度测量效率及精度,与现有成熟技术相比,效率提升81％,所测垂直、 倾斜、 俯仰静刚度精度分别提升5.1％、5.4％、6.6％,可为滚动直线导轨副静刚度测评效率的提升及其高刚性设计提供参考.