超精密车削表面三维形貌的形成及加工影响因素分析

全面分析了超精密加工表面形貌及其特征的形成,认为它是实际粗糙度表面、波纹度表面和几何形状特征表面的叠加.基于机床工艺系统和加工过程,详细分析了超精密车削表面三维形貌的加工影响因素,认为刀具几何形状、进给量和切削深度影响理想粗糙度表面的形成,工件材料特性和刀具与工件间相对振动影响实际粗糙度表面和波纹度表面的形成,加工进给运动误差影响几何形状特征表面的形成.