磁控溅射时间对4Cr13钢表面沉积钨组织及性能的影响
Hot Working Technology（2017）
Abstract
利用磁控溅射在4Cr13钢表面先沉积一层铜,再在铜上沉积一层金属钨.研究了磁控溅射时间对4Cr13钢表面沉积钨组织及性能的影响,结果表明:沉积层厚度随溅射时间的增长呈非线性增加,20、30、40、50 min对应的沉积层厚度分别为1、2、2.5、3μm;沉积层与基体材料间具有良好的结合力,其中溅射时间为50 min,试样结合力最高,达到32 N.
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