基于纳米压痕载荷-位移曲线的磁控溅射镍涂层力学性能计算
Hot Working Technology（2017）
摘要
利用纳米压痕载荷-位移曲线计算了直流脉冲磁控溅射镍涂层的硬度、弹性模量和接触刚度.研究了溅射功率和偏压对镍涂层结构和力学性能的影响.结果表明,随溅射功率的增大,镍涂层生长取向均呈无择优生长状态,弹性模量、接触刚度变化不大,硬度先增加后减小.偏压增大会使镍涂层呈现明显的(111)取向生长,接触刚度增大,弹性模量和硬度都先增大后减小.
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