高纯铝合金气体与夹杂控制研究
Hot Working Technology（2014）
Abstract
介绍了高纯铝及其合金的技术特点,分析了其夹渣和气体含量对溅射镀膜的影响.研究表明,高纯铝及合金中的夹渣存在一临界尺寸,只有当夹渣尺寸超过这一临界尺寸时,夹渣和气体才会影响薄膜质量.当前的除气除渣工艺技术可满足溅射靶材用高纯铝及合金的熔铸生产,但要严格控制熔炼环境.
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