不同晶型金刚石树脂砂轮磨削性能研究

通过磨削试验，从主轴电流、齿高磨损、磨削工件表面质量等方面，研究了单晶、自锐1＃、自锐2＃金刚石对工件磨削性能的影响。研究结果表明：在各磨削参数相同的条件下，自锐2＃金刚石树脂砂轮的工作电流最稳定且最小，砂轮齿高磨损最少，硅片磨削表面质量与另外两种金刚石砂轮相差不大。自锐2＃金刚石树脂砂轮总体磨削性能最佳。