超光滑表面的加工、表征和功能

TOOL ENGINEERING（2002）

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摘要

超精密加工的目标是通过表面质量控制获得预定的表面功能.一定的加工过程产生相应的表面特征,而表面特征在很大程度上又决定着表面的实际功能.为了通过预先设计及加工控制获得要求的功能表面,必须对超光滑表面的加工、表征、功能及其相互关系进行全面而深入的研究.

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