MEMS微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现

Dian-jun SUN,Wei-ping ZHANG,Jian TANG,Ya-liang XING,Bin OU,Chao-yang LIU

Instrument Technique and Sensor（2017）

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摘要

MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法.针对MEMS微半球谐振陀螺高工作频率,高品质因数等特点,提供了一种数字式力反馈模式下的MEMS微半球谐振陀螺数字式闭环控制检测方案以及其FPGA平台硬件实现,完成目前MEMS微半球谐振陀螺的控制与检测工作.

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