基于洛伦兹力的MEMS磁传感器的研究进展
Instrument Technique and Sensor（2017）
Abstract
文中对制作MEMS磁传感器过程中涉及的主要设计参数、器件的制备工艺进行了介绍,综述了基于洛伦兹力的各种结构MEMS磁传感器的灵敏度、品质因子、噪声和探测极限等特性,并对其未来发展进行了展望.
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