大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律
China Mechanical Engineering（2017）
摘要
针对大面积纳米压印脱模工艺,开展了揭开式脱模机理和规律的研究.基于界面黏附能理论,建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型;基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律,建立了气体辅助揭开式脱模临界脱模速度模型.利用ABAQUS工程数值模拟软件,分析得到纳米压印工艺参数(脱模力、脱模角度、脱模速度)对揭开式脱模的影响规律.
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关键词
peel-off demolding,demolding speed,large-area nanoimprint lithography,demolding force
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