新型并联柔性铰链微动精密平台的研究
China Mechanical Engineering(2016)
摘要
基于3-PRC并联机构提出一种由压电陶瓷驱动的新型3-PRC并联微动平台,并进行了构型优化设计;采用矢量法对该平台的位置进行分析,并给出了该平台的理论耦合性误差;采用有限元对其运动解耦性进行了研究.最后制作了实验样机,并进行了实验测试.研究结果表明,该并联微动平台可以实现微米级三维移动,具有较高的精度和良好的运动解耦特性.
更多关键词
three-dimensional movement,parallel micro-motion platform,decoupling,3-PRC
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