新型3-RRRRR 并联微动平台的位置及误差分析

对一种新提出的由压电陶瓷驱动的并联微动平台进行了运动学分析。采用 D-H 法对该微动平台进行了位置分析，推导出了微动平台的反解表达式；在对单分支进行误差分析的基础上，建立了该并联微动平台的末端误差模型，并进行了误差分析。研究结果对3-RRRRR 并联微动平台的设计和制造有参考价值。