压电陶瓷微位移机械装置的研究

MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE（2004）

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摘要

参考反射镜的位移标定,在很大程度上决定了移相干涉仪的测量精度.根据移相干涉的要求和压电陶瓷的特点,设计了推动参考反射镜作微位移的机械装置,通过实验测量出其微位移量表明,设计的装置使反射镜移相的非线性为 1.73%.

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