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超声波电动机驱动大行程柔性导轨设计

MODERN MANUFACTURING ENGINEERING(2004)

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摘要
应用叠片式柔性铰链和压电陶瓷电动机,实现了一种大行程柔性导轨可以在保持柔性铰链高直线度的前提下,大幅度提高行程,同时还保持柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点.导轨应用超声波电动机作为叠片式柔性铰链工作台的驱动器,驱动分辩率可达20nm.
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