基于普通模式和电子束减速模式的加速电压对FESEM图像的影响
Analytical Instrumentation（2020）
摘要
为阐明加速电压对场发射扫描电子显微镜(FESEM)图像的影响,实验以4种典型材料为研究对象,比较了普通模式和电子束减速模式下不同加速电压的FESEM图像.结果表明:普通模式下,对低原子序数的样品进行FESEM表征时,宜选择较低的加速电压;对高原子序数样品或样品的内部相进行FESEM表征时,宜选择较高的加速电压.电子束减速模式在对不耐电子束的样品表征方面具有独特的优势.
更多AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要