一种快速超高真空保护系统

ANALYTICAL INSTRUMENTATION（2000）

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摘要

为了满足同步辐射光源光束线和实验站真空联锁保护系统的需要,本实验室研制出超高真空计、快阀及快阀控制器.本文介绍超高真空计及快阀控制器的设计,给出了光束线和实验站真空联锁保护系统的应用实例.

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