神港智能仪表在控制半导体扩散工艺中的应用

Instrumentation Technology（2019）

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摘要

在介绍神港几款新型智能仪表和扩散设备的简要工作原理的基础上,较详细地讨论了PCA1程序控制器在控制半导体主扩散工艺中的应用和WCL-13A调节仪在太阳能电池制造中的应用.介绍的内容对该领域的工程技术人员有较高的参考价值.

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