近阴极周向平动搅拌式平面电铸均匀性研究

Electroplating & Finishing(2020)

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摘要
提出一种近阴极周向平动搅拌式电铸技术,通过数值仿真分析了搅拌板的周向平动半径(R)及其与阴极面的距离(h)对近阴极面液流层分布特性的影响,并开展了工艺验证试验.结果表明:搅拌板的周向平动运动参数对电铸层厚度均匀性有显著影响.在优化的条件(h=1.5 mm,R=10 mm,平动周期T=4 s)下所得电铸层(面积为150 mm×150 mm)的厚度约为75μm,均匀性达91.5%,不过边缘区的电铸层偏厚.数值仿真所得的电铸层厚度分布影响规律与316不锈钢表面电铸镍的实验结果基本一致.
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