MIM测试结构表征介电薄膜高频特性的研究分析
Electronic Components & Materials（2016）
Abstract
采用金属-绝缘体-金属(MIM)测试结构表征薄膜高频特性时,差动法能有效地剥离测量过程中寄生效应对表征结果的消极影响.为此,借助仿真软件ADS深入探究了差动法中不同内径的结构组合,以及结构中底部电极的厚度和材料对表征结果的影响.结果表明:组合DM65-55(两个结构的内径分别为65 μm和55μm)能较大限度剥离寄生效应的影响,其表征精度高达98.7％;底部电极厚度为0.1μm时,能得到较理想的表征结果;底部电极材料的改变对损耗角正切值的计算影响较大,其均值随着材料的电阻率减小而减小.
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