VHF频段三角形微机电谐振器的分析与设计

设计了一种工作于VHF频段的新型微机电谐振器，采用了一种以阵列方式降低谐振器动态电阻的方法，通过ANSYS有限元分析软件对谐振器进行模态分析。结果表明，与减小换能电容间隙和增大偏置电压相比，采用的方法可以减小动态电阻，增大功率容量，谐振器阵列可以在保证谐振频率不变的情况下提高品质因数、减少损耗、降低动态电阻。设计的谐振器与谐振器阵列的工作频率为123 MHz。