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石英半球型微谐振器的仿真与加工

Yaliang XING,Weiping ZHANG,Jian TANG,Dianjun SUN,Zhaoyang LIU,Bin OU

Piezoelectrics & Acoustooptics（2017）

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Abstract
该文对石英半球型微谐振器进行了模态仿真,分析了前十阶振型及适合陀螺工作的模态,讨论了谐振器壁厚变化对四波腹模态谐振频率的影响.利用吹玻璃法和湿法腐蚀制作了石英半球型微谐振器,跟踪不同的腐蚀速率得出湿法腐蚀可精确控制壁厚的结论.测试腐蚀后的谐振器表面粗糙度仅为0.581 nm,保留了原子级别的光滑度.
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