电子回旋共振等离子体源的特性

简要描述了一台频率为2.45GHz的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性测试，结果表明，放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系 。当磁场达到共振条件87.5mT时，等离子体很易产生，但等离子体密度的最大值却出现在93mT处。ECR源在真空度为0.11Pa间均能运行。由石英、Al2O3陶瓷和BN构成的 微波输入窗有良好的阻抗匹配，在微波功率为200700W间，反射系数仅为1%，等离子体密度达5.8×1011cm-3，电子温度为312eV，该源的寿命超过300h。