小电流校准检定系统建立及不确定度评定

小电流测量仪器在航空航天测控、半导体集成电路测试、核试验测试及其他研究领域中应用较多，并且发挥着很重要的作用。由于小电流测量仪器精度高，分辨率达到fA级，小电流测量仪器的校准、检定就显得尤为困难。本文论述了利用Keithley的5156精密高阻和Fluke5520A多功能源组成的小电流测量仪校准、检定系统。针对该校准系统，分析了校准过程的不确定度来源，依据相关标准进行了不确定度评定，结果证明组建的小电流测量仪校准系统是可靠的。该系统完全可以满足各种小电流测量仪的校准、检定工作。