基于微机电系统技术的薄膜离子源制备与实验研究
Atomic Energy Science and Technology（2019）
Abstract
基于微机电系统技术的薄膜离子源是芯片型中子发生器的关键部件.本文通过在陶瓷基底上制备图形化钛膜并利用3层陶瓷重叠的方法获得了薄膜离子源样品,采用平板探针法和激光共聚焦显微镜得到了薄膜离子源的离子电流及其电极烧蚀特性,并进一步利用高速相机和光谱仪得到了薄膜离子源的放电发光演化图像和等离子体组分信息,最后基于实验结果分析揭示了薄膜离子源放电的工作机制.
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