QWR 铜铌溅射超导腔铜基频率的机械修正

对QWR铜铌溅射超导腔铜基进行频率修正时，需考虑温度导致的频率变化。本工作研究了铜基频率随温度的变化，并在液氮温度下进行实验验证，在此基础上确定了铜基频率的修正工艺。实验结果表明，150 M Hz的QWR铜铌溅射超导腔修正后的频率与预期频率误差在2 kHz以内。