基于单次曝光多光谱关联成像系统带通滤波器的研究

多光谱关联成像与传统点到点的成像方式不同,该技术是采用调制、解调的方式获取目标的图像信息.搭建了一套基于固定相位板的单次曝光多光谱关联成像系统,完成了多光谱关联成像系统中薄膜器件的研制.选择BK7玻璃作为基底材料,氧化铌(Nb2O5)和二氧化硅(SiO2)为高、低折射率材料.根据光学薄膜基础理论,结合膜系设计软件进行膜系设计和模拟分析,通过建立膜系优化评价函数,实现了0°～30°入射450～700 nm带通滤光膜的设计,并在OZZSQ900型箱式真空镀膜机上完成了该薄膜的研制.通过优化SiO2膜沉积速率,改善了薄膜表面缺陷,降低了散射损耗.对膜层的残余蒸镀进行分析,利用最小二乘法建立膜层厚度与残余蒸镀量之间拟合函数,调整监控方式,减小残余蒸镀,提高了制备过程中膜厚控制精度.采用安捷伦Cary5000分光光度计测试,在350～440 nm和710～800 nm波段透过率T＜0.5％,450～700 nm范围内,光线入射角0°～30°时平均透过率T＞98％的带通滤波器,满足系统使用要求,该研究具有重要的实际意义和工程价值.