寄生参数提取中不协调有限元网格的分析

纳米尺度的超大规模集成电路结构复杂,对集成电路设计带来巨大的挑战.互联线寄生参数提取是设计中的重要课题之一,须借助有限元法等电磁场求解器.有限元法需要协调性网格来保证稳定地建立代数系统.然而由于分离部件设计、局部网格细化等原因,经常会出现不匹配网格的情况.本文提出了一种灵活通用的方法来高效地粘连与分析不协调网格.该方法自然地连接起各种网格,形成多边形或多面体单元,这些单元经常退化成诸如三角形或四面体的单纯型,然后基于有限元法框架,通过退化的广义重心坐标和分段插值处理这些单元,得到网格单元上的分段形函数.此方法避免了对网格的重新划分,避免其他重心坐标法的复杂性,并获得良好的精度.论文选用位于衬底上方的三导体静电系统的电容参数提取作为算例,验证了所述方法的可行性与准确性.