基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感器
Journal of Optoelectronics·Laser（2015）
Abstract
提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器,并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造,形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器.分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系,利用MEMS技术成功制作出了加速度传感器样品.初步测试结果表明,本光纤加速度传感器灵敏度为164 mV/g,3 dB带宽的截止频率为1 600 Hz.
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