飞秒激光通过高倍物镜加工中的全息散焦控制
Applied Laser（2019）
Abstract
飞秒激光通过高NA值的物镜进行表面微加工时,过短的焦深会影响加工性能.分析了高倍物镜所带校正环对焦点的离散作用,提出了一种利用空间光调制器(SLM)进行全息散焦控制的方法.通过改变衍射轴锥镜(Axicon)计算机生成全息图(CGHs)中环形闪耀光栅的周期,来进行散焦控制以形成长焦深.焦点轴向强度分布以加工于聚酰亚胺薄膜(PI)表面微孔的形式表示,其分布与仿真结果一致.使用0.6NA的40倍镜进行散焦加工,当环形闪耀光栅最小环周期为200 μm,并由内向外以400 μm递增时,可获得50.90 μm的均匀焦深,是直接使用高倍物镜聚焦进行加工所获得的6.15 μm均匀焦深的8.28倍.此外还通过SLM与校正环进行复合散焦加工,进一步均匀化了整个焦深区域.
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