光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计

X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链，设计柔性二级减速机构，并将之应用到新型的一体式X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上，对X-Y向柔性调节机构结构参数进行了优化设计。进一步，运用有限元分析法，分析了该X-Y向柔性调节机构的性能。分析结果表明，该机构调节行程大于±20μm，机构位移输入?输出关系稳定，传动比约11.9，理论调节精度约8.4 nm，机构单方向驱动刚度为0.473μm/N；机构开环单轴运动时，耦合误差与主运动比值为7.1%；机构1阶模态频率大于200 Hz。该X-Y向柔性调节机构能够应用到光刻投影物镜中。