碳纳米管蒸发特性及其对场发射性能的影响

Chinese Journal of Electron Devices(2017)

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摘要
为了探究场发射阴极电流的跌落机制,采用四极质谱仪分析的方法研究高温蒸发对阴极场发射性能的影响.实验结果表明:碳纳米管阴极在1173 K以上温度时开始蒸发出碳;在1373 K高温下连续蒸发100 h,碳纳米管阴极的开启场强增加21.7%,阈值场强增加31.7%,增强因子减小16.2%,功函数增加11.9%.扫描电镜(SEM)和能量色散X射线光谱仪(EDX)分析显示:增大的功函数和减小的场增强因子降低了阴极的场发射性能.阴极材料的蒸发是阴极电流跌落的重要原因.
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