提升铜微电铸均匀性的方法研究
Electronics Process Technology（2019）
Abstract
微电铸技术是一种金属微结构制备技术.与普通的机械加工相比,微电铸的加工精度更高,能够制备μm级精细结构.然而,在进行大面积铜电铸时,阴极区域不同位置电流密度分布不均匀,会产生明显的电铸厚度差异.借助有限元分析技术,提出一种提升金属铜微电铸均匀性的方法,通过在目标图形外围添加电流收集环来改变阴极电流分配密度,从而提升电铸均匀性.
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