LTCC高精度共烧电阻的制备工艺研究
Electronics Process Technology（2017）
Abstract
从LTCC共烧电阻制备工艺过程出发,通过对影响共烧电阻精度的关键工序丝网印刷、等静压和烧结进行改进和优化,系统地研究了丝印方法、等静压及烧结参数对共烧电阻精度的影响.结果表明,通过两次印刷并改变印刷顺序的方法可获得阻值一致性较好的共烧电阻.改变等静压压力、温度和保压时间都会对阻值产生影响,采用正交实验对比获得了制备高精度电阻所需要的稳定等静压参数范围.同时在烧结阶段控制烧结温度能够获得阻值稳定、烧结致密的LTCC共烧电阻.
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