基于嵌入式技术的超精密光学元件瑕疵检测研究

针对当前光学元件瑕疵检测精度的问题,设计了基于嵌入式技术的超精密光学元件瑕疵检测方法.首先采用单片机作为嵌入式检测方法的主控制器,将嵌入式WinCE操作平台应用于主控制器中实现超精密光学元件的瑕疵检测,通过数据采集模块利用数据转接器转换后将所采集信号发送至主控制模块,主控制模块将信号通过数据传输模块处理后发送至瑕疵检测模块中,瑕疵检测模块通过相移干涉超精密光学元件瑕疵检测方法实现超精密光学元件瑕疵数据检测,并将检测结果发送至数据处理模块,由数据处理模块处理检测结果后发送至LCD显示模块,实现人机交互.实验结果表明,该方法检测10种不同超精密光学元件瑕疵检测精度均高于99％,检测时间均低于15 ms.