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基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作

朱甲强,张卫平,唐健,邢亚亮,孙殿竣,吴校生,崔峰,刘武,成宇翔,赵万良

Semiconductor Optoelectronics（2017）

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Abstract
提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法.该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起.介绍了该种陀螺的基本结构、工作原理,并进行了仿真分析,得出该种陀螺具有较小的频率分裂,表现出陀螺效应.最后,通过MEMS工艺进行了实际加工,得到了该种陀螺的实验样品.
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