剥离技术在GaN基紫外图像传感器中的应用

SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS（2005）

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摘要

采用剥离技术,实现了GaN基紫外探测器件与硅读出电路的倒焊对接,对提高GaN基紫外图像传感器的电学特性起到了重要的作用.介绍了剥离技术的原理,实验结果分析及应用.

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关键词

uv,stripping technique,gan-based

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