Ti微测辐射热计关键技术分析
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS（2005）
摘要
Ti微测辐射热计具有高电阻温度系数、低噪声和与IC工艺兼容性好等特点,在非致冷红外图像系统等应用领域越来越受到关注.文章通过理论分析指出,降低热导、提高填充因子和降低噪声是该种器件形成和使用中的关键技术,给出了相关技术的研究状况.
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关键词
titanium microbolometer
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